技术指标：
电子光学系统
电子枪：W灯丝
加速电压：0～30kV
放大倍数：×50～×400,000
光学分辨率：1μm； 电子像分辨率6nm
成份分析系统
分析元素范围：4Be～92U
AI 定性分析
有标样定量分析，误差＜2%
无标样定量分析，误差＜5%
线分析、面分析
可完成工作：材料测试方法课内实验、综合实验的配合实验